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J-GLOBAL ID：200901002568470967
Update date: Aug. 02, 2024
Hiroshima Hiroshi
ヒロシマ ヒロシ | Hiroshima Hiroshi
Affiliation and department：
Homepage URL (1)：
https://unit.aist.go.jp/sfrc/
Research field (1)：
Applied physics - general
Research keywords (7)：
nanoimprint
, Electron beam lithography
, focused ion beam
, beam assisted process
, electron optics
, lithography
, nano-fabrication
Research theme for competitive and other funds (3)：
- 2017 - 2019 Development of UV nanoimprint process in mixed condensable gas
- 2016 - 2019 A study on process and mold design to obtain quick bubble removal and residual layer uniformity on whole imprinting area
- 2008 - 2013 超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発
Papers (197)：
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Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, Hideki Takagi, Hiroshi Hiroshima, Yoshinori Kinoshita, Katsuhiro Hayashi. Fabrication of high-aspect-ratio micropatterns in soluble block-copolymer polyimides by a UV-assisted thermal imprint process. JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY. 2019. 33. 8. 3755-3760
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Ryohei Hokari, Kazuma Kurihara, Eiji Higurashi, Hiroshi Hiroshima. Optical evaluation of nanocomposite metamaterials fabricated by nano-printing technique utilizing silver nanoink. Microelectronic Engineering. 2019. 211. 44-49
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Sung-Won Youn, Kenta Suzuki, Hiroshi Hiroshima. Mold design and process for application of nanoimprint lithography to interconnections. Journal of Japan Institute of Electronics Packaging. 2019. 22. 2. 158-163
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Kenta Suzuki, Sung-Won Youn, Hiroshi Hiroshima. Solubility Property of Condensable Gases of Trans-1-Chloro-3,3,3-Trifluoropropene and Trans-1,3,3,3-Tetrafluoropropene in UV Nanoimprint. JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY. 2019. 32. 1. 123-130
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Hashiguchi Kyouhei, Suzuki Kenta, Hiroshima Hiroshi, Naitoh Yasuhisa, Suga Hiroshi. Pt Nanogap Electrode Fabrication by Two-Layer Lift-Off UV-NIL and Nanowire Breakdown. IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY. 2018. 17. 6. 1094-1097
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MISC (33)：
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YOUN Sung-Won, SUZUKI Kenta, HIROSHIMA Hiroshi. A Study on Development of Wafer-level Nanoimprint and Its Application to Electronics Packaging. バイオメカニクス研究センター&エレクトロニクス実装学会九州支部合同研究会. 2019. 7th (CD-ROM)
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鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋. 光ナノインプリント樹脂への凝縮性ガスの溶解性の評価. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2019. 33rd
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鈴木聡, 鈴木聡, 鈴木健太, 廣島洋, 菅洋志. スパッタ/反応性イオンエッチングによるマイクロ流路底面へのナノ構造形成法. 日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM). 2019. 25th
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鈴木健太, 尹成圓, 廣島洋. PDMSレプリカモールドを使用したUVナノインプリントのパターン欠陥と離型力の評価. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2018. 32nd
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橋口恭平, 橋口恭平, 鈴木健太, 廣島洋, 菅洋志. 寸法制御性の良いUVナノインプリント用石英モールドの加工法の検討. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2018. 32nd
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Patents (36)：
Books (5)：
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ナノインプリント技術ハンドブック
オーム社 2019 ISBN:9784274224485
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ナノインプリント応用事例集 :~原理/材料/装置/モールド/離型/評価/量産動向/特許等を踏まえて~
情報機構 2007 ISBN:9784901677820
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ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開: ナノインプリントの基盤技術と最新の技術展開 (フロンティアテクノシリ-ズ)
フロンティア出版(台東区) 2006 ISBN:4902410095
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ナノインプリントのはなし
日刊工業新聞社 2005 ISBN:4526055743
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ナノインプリントの開発と応用
シーエムシー出版 2005 ISBN:4882315254
Lectures and oral presentations (18)：
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Quick cavity filling in UV-Nanoimprint using pentafluoropropane
(MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
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Fabrication of ultra smooth mirrors by UV-nanoimprint
(MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS 2007)
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Photo-nanoimprinting using SOFT (Sample on flexible thruster) atage
(Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2005: 2005 International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2005)
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Fabrication of low line edge roughness mold by SOG replica method
(Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)
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Reproducibility of photo-nanoimprint
(Digest of Papers - Microprocesses and Nanotechnology 2004 2004)
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Association Membership(s) (2)：
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