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J-GLOBAL ID:201703019656658356

CO2レーザーモニター装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 堀 城之
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2012270516
Publication number (International publication number):2014115224
Patent number:6153123
Application date: Dec. 11, 2012
Publication date: Jun. 26, 2014
Claim (excerpt):
【請求項1】 CO2(炭酸ガス)レーザー光のビーム広がり及びスペクトルを計測するCO2レーザーモニター装置であって、 前記CO2レーザー光を回折する反射型の回折格子と、 表面から蛍光又は燐光を発し、前記回折格子で回折された前記CO2レーザー光によって前記表面が照射され、前記蛍光又は燐光の発光強度が赤外光の照射によって変動する光検出板と、 前記光検出板の表面であって前記回折格子で回折された前記CO2レーザー光が入射する入射面を2次元画像として撮像する撮像装置と、 を具備することを特徴とするCO2レーザーモニター装置。
IPC (3):
G01J 1/58 ( 200 6.01) ,  G01J 1/02 ( 200 6.01) ,  G01J 3/18 ( 200 6.01)
FI (4):
G01J 1/58 ,  G01J 1/02 H ,  G01J 1/02 K ,  G01J 3/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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