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J-GLOBAL ID：201802211354059362   Reference number：18A1494481

Basic Characteristics of an Electrostatic Chuck for Granular Materials and Application to Artificial Seed Planting

粉粒体用静電チャックの基礎特性と人工播種への応用

Author (2)： OMORI TAKUMA (山形大 大学院理工学研究科) ,  SUGIMOTO TOSHIYUKI (山形大 大学院理工学研究科)
Material： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
Volume： 42  Issue： 4  Page： 192-197  Publication year： Jul. 31, 2018 
JST Material Number： S0175A  ISSN： 0386-2550  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *particulate object ,  *chuck ,  *seeding ,  granular material ,  particle ,  charge(battery) ,  area ,  voltage ,  particle size(diameter)
Semi thesaurus term： applied voltage ,  *electrostatic chuck ,  electrode area ,  dielectric charging

JST classification (2)： Electrostatic equipment  (NB10020R) ,  Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Reference (11)：

• 増田弘昭 他:化学工学論文集,pp.286-290(1976)
• 特開2001-319941
• 三澤弘明 他:精密工学会誌,63[7](1997)959-962
• 江頭 満 他:化学工学論文集,pp.897-905(2017)
• 川本広行 他:日本機械学会論文集(C編)73巻735号,pp.56-166(2007)

Terms in the title (6)： 粉粒体 ,  静電チャック ,  基礎 ,  人工 ,  播種 ,  応用