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J-GLOBAL ID：201802213342688426   Reference number：18A2149278

Plasma-assisted synthesis of zinc oxide thin film using two different precursor materials

2種類の異なる前駆体材料を用いた酸化亜鉛薄膜のプラズマ支援合成

Author (4)： KURIYAMA K. (Kobe City Coll. Technol., Hyogo, JPN) ,  AKAMATSU H. (Kobe City Coll. Technol., Hyogo, JPN) ,  YAMAMOTO S. (Ryukoku Univ., Shiga, JPN) ,  ICHIKAWA K. (National Inst. Technol., Matsue Coll., Shimane, JPN)
Material： Proceedings of International Symposium on Dry Process  (Proc Int Symp Dry Process)
Volume： 40th  Page： 249-250  Publication year： 2018 
JST Material Number： Y0378B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma phase synthesis ,  *zinc oxide ,  *thin film ,  *atmospheric plasma ,  *precursor(substance) ,  ammonium hydroxide ,  polyethylene terephthalate ,  polymer thin film ,  *plasma exposure ,  X-ray diffraction ,  crystal structure ,  active oxygen ,  nitrogen ,  flexible circuit board ,  *thin film growth
Semi thesaurus term： zinc oxide thin film ,  Reactive Oxygen Species ,  active nitrogen

JST classification (2)： Plasma production and heating  (BJ02060E) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Substance index (1)： Zinc Acetate

Terms in the title (4)： 前駆体 ,  酸化亜鉛薄膜 ,  プラズマ ,  支援