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J-GLOBAL ID：201802214830236033   Reference number：18A1103490

Fabrication of Arrays of the Three-dimensional Microstructures on a Substrate Using the Combined Etching Processes

複合エッチング加工技術を用いた基板表面への微小3次元構造アレイの作製

Author (4)： MURAKAMI SUNAO (九州工業大学 大学院情報工学研究院) ,  YAMAMOTO SHUSUKE (九州工業大学 大学院情報工学研究院) ,  ARAKI KAZUHIRO (九州工業大学 大学院情報工学研究院) ,  ITO TAKAHIRO (九州工業大学 大学院情報工学研究院)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 138  Issue： 6  Page： 263-267(J-STAGE)  Publication year： 2018 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *etching ,  *structure ,  silicon ,  wafer ,  micro structure ,  monocrystal silicon ,  Si wafer
Semi thesaurus term： silicon substrate ,  anisotropic etching ,  *three-dimensional structure ,  micropillar

Author keywords (10)： 異方性エッチング ,  ウェットエッチング ,  ドライエッチング ,  単結晶シリコン ,  表面微小構造 ,  anisotropic etching ,  wet etching ,  dry etching ,  single crystal silicon ,  surface microstructures

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (17)：

• (1) M. Callie, Y. Chen, F. Marty, A. Pépin, and D. Quéré : “Microfabricated textured surfaces for super-hydrophobicity investigations”, Microelectronic Engineering, Vol. 78-79, pp. 100-105 (2005)
• (2) M. J. Kreder, J. Alvarenga, P. Kim, and J. Aizenburg : “Design of anti-icing surfaces: smooth, textured or slippery? ”, Nature Reviews Materials, Vol. 1, pp. 1-15 (2016)
• (3) M. Shikida, K, Sato, and H. Tanaka Ed.: “Etching for Micro/Nano fabrication”, CMC Publishing, pp. 4-6 (2009) (in Japanese)
• 式田光宏・佐藤一雄・田中 浩 監修:「マイクロナノデバイスのエッチング技術」, シーエムシー出版, 第1章 ウェットエッチングの基礎, pp. 4-6 (2009)
• (4) S. Murakami, R. Ohmori, S. Shimizu, and T. Ito : “Improvement of shape homogeneity in the surface microstructures fabricated by anisotropic etching on 4-inch silicon wafer”, IEEJ Trans. SM, Vol. 134, pp. 258-263 (2014) (in Japanese)

Terms in the title (6)： エッチング加工 ,  基板表面 ,  微小 ,  3次元構造 ,  アレイ ,  作製