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J-GLOBAL ID：201802217311965261   Reference number：18A1490525

In situ voltage-application system for active voltage contrast imaging in helium ion microscope

ヘリウムイオン顕微鏡におけるアクティブ電圧コントラストイメージングのためのその場電圧応用システム【JST・京大機械翻訳】

Author (5)： Sakai Chikako (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Ishida Nobuyuki (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Nagano Shoko (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Onishi Keiko (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Fujita Daisuke (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology & Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, & Phenomena)
Volume： 36  Issue： 4  Page： 042903-042903-5  Publication year： 2018 
JST Material Number： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： In this study, the authors pre...

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Thesaurus term： electric potential ,  *voltage ,  image ,  *contrast ,  multilayer ,  *ion ,  *Helium ,  electric potential distribution ,  probe ,  *microscope ,  secondary battery ,  *image processing ,  solar cell ,  secondary electron ,  chamber

JST classification (2)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  Applications of electron beams and ion beams  (BD02070X)

Terms in the title (5)： ヘリウム ,  イオン顕微鏡 ,  コントラスト ,  イメージング ,  応用