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J-GLOBAL ID：201802220376649478   Reference number：18A0459310

サブミクロン銅薄膜の破壊じん性に及ぼす酸化の影響

Author (5)： MIKI DAIKI (大阪大) ,  SUGIURA TAIKI (大阪大) ,  KONDO TOSHIYUKI (大阪大) ,  HIRAKATA HIROYUKI (京大) ,  MINOSHIMA KOJI (大阪大)
Material： 日本機械学会M&M材料力学カンファレンス(CD-ROM)  (日本機械学会M&M材料力学カンファレンス講演論文集(CD-ROM))
Volume： 2017  Page： ROMBUNNO.OS1505  Publication year： Oct. 06, 2017 
JST Material Number： L0191B  ISSN： 2424-2845  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *metallic thin film ,  *fracture toughness ,  *oxidized layer ,  Motion ,  dislocation(crystal) ,  electron microscopy ,  fracture toughness test ,  in situ observation ,  crack initiation ,  crack opening displacement ,  dislocation motion ,  *copper film ,  Scanning Electron Microscopy ,  lattice defect
Semi thesaurus term： scanning electron microscopy

JST classification (1)： Metallic materials  (HC04020L)

Terms in the title (4)： サブ ,  銅薄膜 ,  破壊じん性 ,  酸化