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J-GLOBAL ID：201802225798091884   Reference number：18A1285947

Effects caused by degeneration of natural frequency for pneumatic isolated table with two degrees-of-freedom

2自由度空圧式除振装置におけるモード別固有値操作および縮退が与える影響

Author (2)： AOKI YUI (東京農工大 大学院工学府) ,  WAKUI SHINJI (東京農工大 大学院工学研究院)
Material： 日本機械学会論文集(Web)  (Bulletin of the JSME (Web))
Volume： 84  Issue： 862  Page： ROMBUNNO.18-00052(J-STAGE)  Publication year： 2018 
JST Material Number： U0182B  ISSN： 2187-9761  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： atmospheric pressure ,  pneumatic control ,  *vibration isolator ,  *oscillation mode ,  eigenvalue ,  degeneracy ,  positioning device ,  eigenmode ,  speed control ,  design
Semi thesaurus term： X-Y stage ,  parameter design ,  acceleration control ,  air pressure ,  pneumatic control ,  *exposure equipment

JST classification (3)： Precision machines in general  (QF01000M) ,  Propagation of vibrations  (BB02040K) ,  Theory of vibrations  (BB02020O)

Terms in the title (5)： 2自由度 ,  空圧 ,  除振装置 ,  固有値 ,  縮退