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J-GLOBAL ID：201802240467099388   Reference number：18A1796402

超多点法に基づくロバストな表面形状計測システム

Author (3)： TORII ARISA (東京工大) ,  YOSHIOKA HAYATO (東京工大) ,  SHINNO HIDENORI (東京工大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2018  Issue： 秋季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.D02-21  Publication year： Aug. 20, 2018 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *surface quality ,  *shape measurement ,  optical interferometry ,  reference model ,  scanning ,  wide area treatment ,  Motion ,  error (measure) ,  noise (signal) ,  measurement ,  translation (migration) ,  robustness ,  *multipoint measurement
Semi thesaurus term： *multipoint measurement

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (3)：

• Schmitt, R.H.et al,“Advances in Large-Scale Metrology - Review and future trends”,CIRP Annals-Manufacturing Technology,Vol. 65,No.2 (2016), pp. 643-665.
• 近藤余範,“表面形状の計測技術と標準に関する調査研究”, AIST Bulletin of Metrology,Vol. 8, No. 3 (2011), pp. 299-310.
• 田中宏明,佐藤壽芳,“逐次 2 点真直度測定法の基本的な特性に関する研究”,日本機械学会論文集 C編, Vol.48, No.436(1982),pp1930-1937.

Terms in the title (3)： ロバスト ,  表面形状 ,  計測システム