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J-GLOBAL ID：201802247508447587   Reference number：18A0551560

Oscillator-Type Thermal Micro Flow Sensor

発振器型熱式マイクロ・フローセンサ

Author (3)： HOSHINO KEISUKE (千葉工業大学) ,  Liu Jiannan (千葉工業大学) ,  MURO HIDEO (千葉工業大学)
Material： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
Volume： 138  Issue： 3  Page： 112-116(J-STAGE)  Publication year： 2018 
JST Material Number： L3098A  ISSN： 1341-8939  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *flow meter ,  *SOI structure ,  *MEMS ,  *oscillator ,  *temperature sensor ,  *small type ,  micromachining ,  ceramic package ,  heat conduction ,  delay ,  thermal stress ,  degradation(alteration) ,  DIP
Semi thesaurus term： *microsensor ,  thermal flow meter ,  MEMS sensor ,  time delay ,  time degradation

Author keywords (10)： マイクロ・フローセンサ ,  熱式 ,  SOI-MEMS ,  発振器 ,  温度センサ ,  micro flow sensors ,  thermal ,  SOI-MEMS ,  oscillator ,  temperature sensors

JST classification (3)： Experimental,test,measuring techniques and their apparatuses of fluids  (BC01020K) ,  Thermometry,thermometer  (AD06010K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (12)：

• (1) A. Kolin : “Approaches to blood-flow measurement by means of electromagnetic catheter flow meters”, <i>IEEE Journals & Magazines</i>, Vol. 6, Issue. 2, pp. 308-314 (1970)
• (2) N. Mandal, B. Kumar, G. Rajita, B. Mondal, and Na : “A modified design of a flow transmitter using rotameter as a primary sensor and LVDT as a transducer”, IEEE Conference Publications, pp. 194-198 (2014)
• (3) V. Magori : “Ultrasonic sensors in air”, IEEE Conference Publications, Vol. 1, pp. 471-481 (1994)
• (4) F. Yang and Y. Wang : “Research of the New Electronic Valve System with Quantitative Control”, IEEE Conference Publications, pp. 274-277 (2012)
• (5) K. Kawahata, A. Nakano, and M. Esashi : “Integrated Thermal Mass Flow Controller Using Normally Close Microvalve”, TECHNICAL DIGEST OF THE 8TH SENSOR SYMPOSIUM, pp. 141-144 (1989)

Terms in the title (2)： 発振器 ,  フローセンサ