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J-GLOBAL ID：201802250920963136   Reference number：18A0360329

Fundamental investigation on characteristic change of YBCO thin films by focused ion beam processing

収束イオンビーム加工によるYBCO薄膜の特性変化に関する基礎的検討

Author (1)： MIYATO YUJI (大阪大 大学院基礎工学研究科)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 117  Issue： 428(SCE2017 31-41)  Page： 21-26  Publication year： Jan. 24, 2018 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *focused ion beam ,  ion beam machining ,  *YBCO thin film ,  Superconductivity ,  *Josephson junction ,  critical temperature ,  ion irradiation ,  annealing (heat treatment) ,  simulation ,  Monte Carlo Method ,  Monte Carlo simulation
Semi thesaurus term： annealing treatment ,  focused ion beam

JST classification (1)： Josephson junction and elements  (BM04043E)

Reference (5)：

• S.A. Cybart, E.Y. Che, T.J. Wong, B.H. Wehlin, M.K. Ma, C. Huynh, and R.C. Dynes, Nat. Nanotechnol. 10, 598 (2015).
• B.W. Ward, J.A. Notte, and N.P. Economou, J. Vac. Sci. Technol. B Microelectron. Nanom. Struct. 24, 2871 (2006).
• F.H.M. Rahman, S. McVey, L. Farkas, J.A. Notte, S. Tan, and R.H. Livengood, Scanning 34, 129 (2012)
• E.Y. Che, M.K. Ma, C. Huynh, K. Pratt, D.N. Paulson, V.N. Glyantsev, R.C. Dynes, and S.A. Cybart, Appl. Phys. Left. 106, 252601 (2015).
• http://www.srim.org(参照日 2018/1/10)

Terms in the title (3)： 収束イオンビーム ,  YBCO薄膜 ,  基礎的検討