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J-GLOBAL ID：201802254142675971   Reference number：18A2017690

機能性厚膜の成膜技術と最新動向 分子プレカーサー法の厚膜成膜への展開

Author (2)： SATO MITSUNOBU (工学院大 先進工) ,  NAGAI HIROKI (工学院大 先進工)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 69  Issue： 11  Page： 507-510  Publication year： Nov. 01, 2018 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *thick film ,  precursor(substance) ,  electrostatic coating ,  spin coating ,  spray coating ,  covering ,  aliphatic amine ,  neutralization reaction ,  aliphatic carboxylic acid ,  aminocarboxylic acid ,  diamine ,  tertiary amine
Semi thesaurus term： dip coating method

JST classification (1)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Substance index (2)： EDTA ,  Nitrilotriacetic Acid

Reference (17)：

• 1)H. Werner ; Angew. Chem. Int. Ed., 52, 6146(2013).
• 2)H. Nagai, T. Suzuki, Hara, C. Mochizuki, I. Takano, T. Honda, M. Sato ; Mater. Chem. Phys., 137, 252(2012).
• 3)H. Nagai, T. Suzuki, H. Hara, C. Mochizuki, I. Takano, T. Honda, M. Sato ; Sci. Adv. Mater., 6, 603(2014).
• 4)M. Sato, H. Hara, T. Niside, Y. Sawada ; J. Mater. Chem., 6, 1767(1996).
• 5)T. Nishide, M. Sato, H. Hara ; J. Mater. Sci., 35, 465(2000).

Terms in the title (7)： 機能性 ,  厚膜 ,  成膜 ,  最新動向 ,  分子 ,  プレカーサー ,  展開