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J-GLOBAL ID：201802260467805244   Reference number：18A1894241

Numerical Identification of Trivelpiece-Gould Waves in an Electron Cyclotron Resonance Etching Reactor

電子サイクロトロン共鳴エッチング反応器におけるトリベルピース-Gould波の数値同定【JST・京大機械翻訳】

Author (5)： Tamura Hitoshi (Electric Device Systems Business Group, Hitachi High-Technologies Corporation, Kudamatsu, Japan) ,  Tetsuka Tsutomu (Research & Development Group, Hitachi Ltd., Tokyo, Japan) ,  Tamari Nanako (Electric Device Systems Business Group, Hitachi High-Technologies Corporation, Kudamatsu, Japan) ,  Kuwahara Daisuke (Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Tokyo, Japan) ,  Shinohara Shunjiro (Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Tokyo, Japan)
Material： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Trans Plasma Sci)
Volume： 46  Issue： 10  Page： 3662-3668  Publication year： 2018 
JST Material Number： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： Electron cyclotron resonance (...

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Thesaurus term： electromagnetic wave ,  magnetized plasma ,  *chemical reactor ,  electric field ,  wave motion ,  *etching ,  LSI ,  microwave ,  production process ,  plasma source ,  electromagnetic field ,  electromagnetic field analysis ,  simulation
Semi thesaurus term： 複雑性 ,  *電子サイクロトロン共鳴 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (2)： Electron tubes,discharge tubes  (NC02020D) ,  Gas discharges  (BJ03020T)

Terms in the title (4)： 電子サイクロトロン共鳴 ,  エッチング反応 ,  数値 ,  同定