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J-GLOBAL ID：201802263635430201   Reference number：18A0371059

高精密研削加工の技術動向-高能率・高品位加工のポイント 硬質単結晶ウエハの研削加工の基礎

Author (1)： ZHOU Libo (茨城大 工)
Material： 機械技術  (Mechanical Engineering)
Volume： 66  Issue： 3  Page： 22-27  Publication year： Mar. 01, 2018 
JST Material Number： F0145A  ISSN： 0451-9396  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *wafer ,  single crystal ,  *hard material ,  *grinding ,  modeling ,  mechanism ,  resistance ,  cutting resistance

JST classification (2)： Grinding  (QC03000R) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (9)： 精密研削加工 ,  技術動向 ,  高能率 ,  高品位加工 ,  ポイント ,  硬質 ,  単結晶ウエハ ,  研削加工 ,  基礎