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J-GLOBAL ID：201802263647209107   Reference number：18A2142466

High-speed and precise laser interferometry developed for plasma electron-density diagnostics

レーザー干渉計によるプラズマ電子密度計測の高速・高精度化

Author (1)： URABE Keiichiro (Kyoto Univ.)
Material： Readout  (Horiba Technical Reports)
Issue： 51  Page： 10-15  Publication year： Oct. 15, 2018 
JST Material Number： L0745A  ISSN： 0915-9916  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *laser interferometer ,  *electron density ,  plasma ,  refractive index ,  *plasma diagnostics ,  electron collision ,  thin film ,  etching
Semi thesaurus term： plasma measurement ,  プラズマ電子密度

JST classification (2)： Plasma diagnostics  (BJ02090L) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (13)：

• Y. Ichikawa, T. Sasaki, and S. Teii, Plasma Handoutai Process Kougaku, Uchida Rokakuho Publishing (2003). 市川 幸美,佐々木敏明,堤井 信力,プラズマ半導体プロセス工学 製膜とエッチング入門- ,内田老鶴圃(2003年).
• Ed. by The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research, Plasma Shindan no Kiso to Oyo, Corona Publishing (2006).プラズマ・核融合学会 編,プラズマ診断の基礎と応用,コロナ社 (2006年).
• T. Osawa and T. Obokata, Laser Keisoku, Shokabo (1994). 大澤 敏彦, 小保方 富夫,レーザ計測,裳華房(1994年).
• K. Urabe, H. Muneoka, S. Stauss, and Kazuo Terashima, Microscopic heterodyne interferometry for determination of electron density in high-pressure microplasma, Plasma Sources Sci. Technol., 23 (2014)064007.
• K. Urabe and K. Tachibana, Heterodyne interferometer for measurement of electron density in high-pressure plasmas in CO2 Laser - Optimisation and Application, ed. Dan C. Dumitras, InTech (2012).

Terms in the title (5)： レーザー干渉計 ,  プラズマ ,  電子密度 ,  計測 ,  高精度化