Art

J-GLOBAL ID：201802265995098103   Reference number：18A0313016

Celluloid Microenclosure and Microlens Array Fabricated by Suzuki’s Universal Microprinting Method and XeF₂ Vapor Etching for Microbial Analysis

微生物分析のためのスズキユニバーサルマイクロプリント法およびXeF₂蒸気圧エッチングで作製したセルロイドマイクロエンクロージャーとマイクロレンズアレイ

Author (2)： MATSUTANI Akihiro (Tokyo Inst. Technol., Kanagawa, JPN) ,  TAKADA Ayako (Tokyo Inst. Technol., Kanagawa, JPN)
Material： Sensors and Materials  (Sens Mater)
Volume： 30  Issue： 1  Page： 149-155  Publication year： 2018 
JST Material Number： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *biochip ,...
Semi thesaurus term： SUMP法 ,...

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JST classification (2)： Microscopic methods of living organisms  (EA03050C) ,  Microorganism test methods  (EG02020G)

Reference (12)：

• A. Matsutani and A. Takada: Jpn. J. Appl. Phys. 49 (2010) 127201.
• A. Matsutani and A. Takada: Jpn. J. Appl. Phys. 51 (2012) 087001.
• J. Suzuki: Japan Patent No. 88353 (1930).
• J. Suzuki: Oyo Buturi 5 (1936) 279 (in Japanese).
• K. Kurata: Oyo Buturi 6 (1937) 460 (in Japanese).

Terms in the title (6)： 生物分析 ,  XeF2 ,  蒸気圧 ,  エッチング ,  作製 ,  マイクロレンズアレイ