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J-GLOBAL ID：201802269400227003   Reference number：18A0632829

新しい非蒸発ゲッター(NEG)コーティングの応用と評価

Author (16)： MIYAZAWA TETSUYA (総合研究大学院大) ,  KURIHARA MASASHI (横浜国大 工) ,  ONO SHIN'YA (横浜国大 工) ,  TERASHIMA NAOYA (弘前大 理工) ,  NATSUI YUTO (弘前大 理工) ,  KATO HIROO (弘前大 理工) ,  KANO YU (東京理大 理工) ,  NAKAYAMA YASUO (東京理大 理工) ,  KATO YOSHIHIRO (入江工研) ,  HASHIMOTO AYAKO (物質・材料研究機構) ,  MATSUMOTO MASUAKI (学芸大) ,  WILDE Markus (東大 生産技研) ,  FUKUTANI KATSUYUKI (東大 生産技研) ,  KIKUCHI TAKASHI (KEK 物構研) ,  MASE KAZUHIKO (総合研究大学院大) ,  MASE KAZUHIKO (KEK 物構研)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 65th  Page： ROMBUNNO.19a-F214-11  Publication year： Mar. 05, 2018 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2436-7613  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *getter pump ,  gettering ,  accelerator ,  thin film growth ,  Titanium ,  Palladium ,  exhaust ,  action and behavior
Semi thesaurus term： nonevaporable getter

JST classification (1)： Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Terms in the title (5)： 蒸発 ,  ゲッター ,  コーティング ,  応用 ,  評価