Art

J-GLOBAL ID：201802271758585894   Reference number：18A2161656

Evaluation of electromechanical transduction efficiency of p-n diode actuators with a silicon tuning fork resonator

シリコン音叉型共振器によるp-nダイオードアクチュエータの電気機械変換効率の評価

Author (4)： MIYAZAKI Fumito (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TANIGAWA Hiroshi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  FURUTSUKA Takashi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Kenichiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 57  Issue： 10  Page： 107201.1-107201.16  Publication year： Oct. 2018 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *silicon ,  semiconductor ,  *resonator ,  tuning fork ,  PN junction ,  *diode ,  *actuator ,  electromechanical effect ,  *coupling coefficient ,  depletion layer
Semi thesaurus term： *silicon ,  MEMS resonator ,  *electromechanical coupling constant ,  conversion efficiency ,  electrostatic actuator

JST classification (2)： Diodes  (NC03050R) ,  Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M)

Reference (30)：

• M. Rinaldi, C. Zuo, J. V. Spiegel, and G. Piazza, IEEE Trans. Electron Devices 58, 1281 (2011).
• K. Hashimoto, K. Ito, H. Tanigawa, and K. Suzuki, Jpn. J. Appl. Phys. 50, 067201 (2011).
• D. Galayko, A. Kaiser, L. Buchaillot, B. Legrand, D. Collard, and C. Combi, J. Micromech. Microeng. 13, 134 (2003).
• T. Oka, T. Ishino, H. Tanigawa, and K. Suzuki, Jpn. J. Appl. Phys. 50, 06GH02 (2011).
• T. Okamoto, H. Tanigawa, and K. Suzuki, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 06FL06 (2012).

Terms in the title (8)： シリコン ,  音叉 ,  共振器 ,  ダイオード ,  アクチュエータ ,  電気機械 ,  変換効率 ,  評価