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J-GLOBAL ID:201803002390586246
表面加工樹脂フィルムの製造方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (5):
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 松本 将尚
, 宮本 龍
, 飯田 雅人
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2017119132
Publication number (International publication number):2017226835
Application date: Jun. 16, 2017
Publication date: Dec. 28, 2017
Summary:
【課題】表面に高い規則性を有する微細構造を備えた表面加工樹脂フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】本発明は、凹凸表面からなる複数の規則的な微細構造を備えた表面加工樹脂フィルム10の製造方法であって、微細構造間のピッチが1μm以下となるように、樹脂フィルムに対して、原子状水素を照射する工程を有することを特徴とする。好ましくは、前記工程において、原子状水素を照射することにより生じる樹脂フィルムの温度上昇、又はエッチングレートを制御する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
凹凸表面からなる複数の規則的な微細構造を備えた表面加工樹脂フィルムの製造方法であって、
前記微細構造間のピッチが1μm以下となるように、樹脂フィルムに対して、原子状水素を照射する工程を有することを特徴とする、表面加工樹脂フィルムの製造方法。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (26):
4F070AA13
, 4F070AA15
, 4F070AA22
, 4F070AA32
, 4F070AA46
, 4F070BA10
, 4F070BB02
, 4F070HA03
, 4F070HB05
, 4F070HB14
, 4F070HB15
, 4F209AA04
, 4F209AA11
, 4F209AA15
, 4F209AA21
, 4F209AA39
, 4F209AC03
, 4F209AF01
, 4F209AG01
, 4F209AG05
, 4F209AR06
, 4F209PA14
, 4F209PB01
, 4F209PC03
, 4F209PC05
, 4F209PN04
Patent cited by the Patent:
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