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J-GLOBAL ID:200901034818517416
Update date: Sep. 19, 2024
Horibe Hideo
堀邊 英夫 | Horibe Hideo
Affiliation and department:
Job title:
Professor
Homepage URL (1):
https://www.omu.ac.jp/eng/polymer2021_lab/
Research field (4):
Composite materials and interfaces
, Structural and functional materials
, Polymer materials
, Polymer chemistry
Research keywords (20):
Resist
, PVDF
, 原子状水素
, オゾン
, 導電性複合材料
, PVDF/PMMA
, イオンビーム
, 感光性樹脂(レジスト)
, リソグラフィー
, 微細加工技術
, 高分子化学
, atomic hydrogen
, ozone
, Polymer Composites Filled with Electrical Filler
, PVDF/PMMA
, ion beam
, resist
, lithography
, ultra-fine processing technology
, polymer chemistry
Research theme for competitive and other funds (24):
- 2022 - 2025 Semiconductor device foundry achieved at a nanotech platform established on an average science lab.
- 2022 - 2025 Formation of double roughness structures on surface of polymer blend film using atmospheric pressure low temperature plasma
- 2021 - 2024 Reduction of room temperature resistivity by morphology control of conductive composites for permanent fuse
- 2019 - 2023 水素ラジカルによるポリマー材料の分解・除去における酸素微量添加効果の解明
- 2018 - 2021 Development of high performance resist removal technique using laser irradiation for environmental load reduction in semiconductor production
- 2016 - 2019 A nanotechnology platform established in average science laboratories
- 2015 - 2017 極低温微細固体粒子を用いた環境調和型洗浄法の開発と高密度水素貯蔵への展開
- 2013 - 2016 マイクロスポレーション粒子分散ガスによる直流アーク遮断
- 2013 - 2015 Development of a new technology for dc-current interruption assisted by ablation of polymer micro-particles
- 2012 - 2015 水素ラジカルと高分子固体との表面反応にアレニウス則を適用した化学反応機構解明
- 2012 - 2014 反応性混相流の活用によるナノデバイスクリーニング
- 2010 - 2014 糸状菌の界面科学的機能制御に関する研究
- 2006 - 2008 1分子ゲノムDNAからの任意部位の切断・回収技術の開発
- 2004 - 2007 平成16年度NEDO産業技術研究助成事業(環境分野)
- 2005 - 2007 平成17年度実用化のための可能性試験(FS)
- 2004 - 2006 オゾンを用いたレジスト剥離に関する研究開発
- Resist
- オゾンや水素ラジカルを用いた有機ポリマーの分解
- レジストに関する研究
- PVDFの結晶構造に関する研究
- 導電性複合材料のPTC特性(温度-抵抗率の正関数)に関する研究
- Decomposition of organic polymer using ozone or a hydrogen radical
- PVDF conformation
- Electrical Conductivity of Polymer Composites Filled with Electrical Filler
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Papers (108):
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Masashi Yamamoto, Tomoyuki Hamasaki, Atsushi Sekiguchi, Hiroko Minami, Masayasu Aikawa, Hideo Horibe. Development of Bile Duct Stent with Antifouling Property Using Atmospheric Pressure and Low Temperature Plasma. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2022. 35. 3. 233-239
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Risako Matsuura, Noritsugu Kometani, Hideo Horibe, Tatsuru Shirafuji. Enhanced decomposition of toxic pollutants by underwater pulsed discharge in the presence of hydrogen peroxide and microbubbles. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. SA
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Ken Ichi Fujita, Takashi Tomiyama, Takahiro Inoi, Takashi Nishiyama, Eriko Sato, Hideo Horibe, Ryosuke Takahashi, Shinichi Kitamura, Yoshihiro Yamaguchi, Akira Ogita, et al. Effect of pgsE expression on the molecular weight of poly(γ-glutamic acid) in fermentative production. Polymer Journal. 2021. 53. 2. 409-414
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Koki Akita, Shota Sogo, Ryusei Sogame, Masashi Yamamoto, Shiro Nagaoka, Hironobu Umemoto, Hideo Horibe. Removal of novolac photoresist with various concentrations of photo-active compound using h2/o2 mixtures activated on a tungsten hot-wire catalyst. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2021. 34. 5. 499-504
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Atsushi Sekiguchi, Masashi Yamamoto, Takuya Kumagai, Youichiro Mori, Hiroko Minami, Masayasu Aikawa, Hideo Horibe. Development of Bile Direct Stent Having Antifouling Properties by Atmospheric Pressure Low-Temperature Plasma. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2021. 34. 4. 401-410
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MISC (334):
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山地恭平, 山本雅史, PAING Khant Nyar, 相澤洸, 石島達夫, 堀邊英夫. Removal of Polystyrene-based Polymers Using Water Vapor Plasma. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 84th
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長岡史郎, 山本雅史, 鹿間共一, 清水共, JOHNSTON Robert, 松田和典, 下川房男, 堀邊英夫. Nanotech Platform Established for Average Technical Education Science Laboratories. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2020. 67th
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宮崎翔, 山本雅史, 河田純, 堀邊英夫, 長岡史郎. 電子線レジストの感度曲線を用いたレジスト解像度パタンのモンテカルロシミュレーション. 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会(CD-ROM). 2019. 20th
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Chisato Omori, Michihiro Yuri, Eriko Sato, Takashi Nishiyama, Hideo Horibe. Development of Thermal Latent Reductants and Their Application to Accelerated Degradation of Polyperoxides (Hot Topics). Kobunshi High Polymers, Japan. 2018. 67. 7. 383
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西岡直樹, 西岡直樹, 梅田悠史, 船本祐介, 島大地, 倉前宏行, 神村共住, 堀邊英夫, 吉村政志, 中村亮介. 時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2018. 79th
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Patents (104):
Books (7):
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コンポジット材料の紺練・コンパウンド技術と分散・界面制御 第6章 第5節 導電フィラー分散樹脂の温度に対する電気特性
技術情報協会 2013
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レジストエッチング-水素ラジカルによるレジスト除去-
シーエムシー出版(触媒CVD(Cat-CVD)の新展開) 2008
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マスク枚数削減のための新規プロセス-ハーフトーンマスク用多層レジスト技術-
情報機構 2008
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新規なレジスト剥離技術
情報機構 2008
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導電性材料ノウハウ集-配合/設計/評価のポイント-
情報機構発行 2007
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Lectures and oral presentations (196):
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Hot-wire法により生成した水素ラジカルによるレジスト材料の分解反応機構I
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)
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湿潤オゾンを用いたレジスト除去における反応メカニズムの解明(II)
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)
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プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴(ESR)解析(3)
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)
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溶解抑制剤を添加した3成分系化学増幅型EUVレジストの開発II
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)
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イオン注入レジストの構造解析(2)
(第59回応用物理学関係連合講演会 2012)
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Education (1):
- 1981 - 1985 Kyoto University Faculty of Engineering
Professional career (1):
Work history (13):
- 2022/04 - 現在 Osaka Metropolitan University
- 2017 - 現在 Kanazawa University
- 2017 - 現在 Kochi University of Technology
- 2013 - 現在 Osaka City University Graduate School of Engineering, Applied Chemistry and Bioengineering Course
- 2007 - 現在 Osaka University
- 2018/04 - 2023/03 Tokyo University of Agriculture and Technology
- 2016 - 2022/03 University of Hyogo
- 2017/04 - 2018/03 Osaka City University Graduate School of Engineering
- 2014/04 - 2017/03 Osaka City University
- 2015 - 2016 Tohoku University
- 2007 - 2013 Kanazawa Institute of Technology Department of Applied Chemistry, College of Bioscience and Chemistry
- 2003 - 2007 National Institute of Technology, Kochi College Department of Materials Science and Engineering
- 1985 - 2003 Mitsubishi Electric Corporation Advanced Technology R&D Center
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Committee career (21):
- 2019/04 - 現在 キンカ エレクトロニクス部会 委員
- 2019/04 - 現在 大阪工研協会 副部会長
- 2018/04 - 現在 ラドテック研究会 理事
- 2017/04 - 現在 フォトポリマー懇話会 副会長
- 2017/04 - 現在 関西コンバーティングものづくり研究会 会長
- 2016/04 - 現在 フォトポリマー学会 組織委員、企画委員
- 2016/04 - 現在 関西ナノテクネットワーク連絡協議会 委員
- 2015/04 - 現在 プラスチック成形加工学会 関西支部副支部長
- 2013 - 現在 EM-NANO Organizing Committee
- 2012 - 現在 HWCVD International Advisory Committee
- 2010/09 - 現在 日本放射線化学会 常任理事
- 2010 - 現在 電気学会 論文委員
- 2008 - 現在 Cat-CVD研究会 委員
- 2012/02 - 2016/02 応用物理学会 第51期代議員
- 2010/04 - 2012/03 応用物理学会 第49期人財育成・教育事業委員
- 2010 - 2012 応用物理学会 北陸・信越支部 役員
- 2009 - 2011 三菱電機 先端技術総合研究所 プラスチックリサイクル外部評価委員会 委員長
- 2010/04 - 学会誌等の編集・審査委員会 -
- 2008/04 - 2009/03 審議会・政策研究会等の委員会 -
- 2007/04 - 2008/03 審議会・政策研究会等の委員会 -
- 2004/04 - 2005/03 審議会・政策研究会等の委員会 -
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Awards (5):
- 2017/11 - 第65回電気科学技術奨励賞
- 2017/05 - 平成28年度大阪ニュークリアサイエンス協会(ONSA)賞
- 2013/03 - 第11回プラズマエレクトロニクス賞
- 2007/03 - 第14回平賀源内大賞
- 1995/05 - 第46回化学技術賞
Association Membership(s) (10):
Cat-CVD研究会
, The Society of Polymer Science
, Japanese Society of Radiation Chemistry
, 応用物理学会
, HWCVD
, EM-NANO
, 関西コンバーティングものづくり研究会
, THE JAPAN SOCIETY OF POLYMER PROCESSING
, フォトポリマー学会
, ラドテック研究会
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