磁気抵抗素子、磁気検出装置、及び磁気抵抗素子の製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：特許業務法人ゆうあい特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016177860
Publication number (International publication number)：2018046061
Application date： Sep. 12, 2016
Publication date： Mar. 22, 2018
Summary：

【課題】磁化方向が面内方向とは異なる方向に設定された固定層の着磁を安定的に行う。【解決手段】磁気抵抗素子1は、主面21を有する基板2と、主面21と平行な面内方向に電流を通流可能に主面21に沿って形成された導電性部分であって主面21と直交する面直方向における所定範囲に設けられた配線部4と、主面21と非平行な第一の磁化容易軸方向に磁化方向が固定された強磁性体層であって面直方向にて占める範囲が所定範囲と重複するように主面21に沿って設けられ且つ面内方向にて配線部4と所定間隔をおいて隣接配置された固定層33と、第二の磁化容易軸方向を有し外部磁界に応じて磁化方向が可変な強磁性体層であって面直方向に基板2及び固定層33と積層された自由層35と、を備えている。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

主面(21)を有する基板(2)と、前記主面と平行な第一面内方向(Y)に電流を通流可能に前記主面に沿って形成された導電性部分であって、前記主面と直交する面直方向(Z)における所定範囲(Z1)に設けられた配線部(4)と、前記主面と非平行な第一の磁化容易軸方向に磁化方向が固定された強磁性体層であって、前記面直方向にて占める範囲が前記所定範囲と重複するように前記主面に沿って設けられ、前記主面と平行で前記第一面内方向と直交する第二面内方向(X)にて前記配線部と所定間隔をおいて隣接配置された固定層(33)と、第二の磁化容易軸方向を有し外部磁界に応じて磁化方向が可変な強磁性体層であって、前記面直方向に前記基板及び前記固定層と積層された自由層(35)と、を備えた磁気抵抗素子(1)。

IPC (4)：

H01L 43/08 , H01L 43/12 , G01R 33/09 , H01F 10/08

FI (4)：

H01L43/08 Z , H01L43/12 , G01R33/06 R , H01F10/08

F-Term (24)：

2G017AA01 , 2G017AD55 , 2G017BA05 , 2G017BA09 , 5E049AA04 , 5E049BA16 , 5E049CB02 , 5E049DB14 , 5F092AA15 , 5F092AB01 , 5F092AC12 , 5F092AD03 , 5F092AD23 , 5F092BB22 , 5F092BB23 , 5F092BB35 , 5F092BB36 , 5F092BB43 , 5F092BB55 , 5F092BC04 , 5F092BC12 , 5F092CA23 , 5F092EA01 , 5F092EA08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

磁性薄膜メモリ素子およびその記録再生方法、画像録画再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-096117 Applicant：キヤノン株式会社
センサ用磁気抵抗素子、およびセンサ回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2013-029151 Applicant：株式会社デンソー
磁界検出センサ及びそれを用いた磁界検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2014-101494 Applicant：TDK株式会社

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