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J-GLOBAL ID：201803007586523783
イメージング装置及びイメージング方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：
吉田 正義
, 今枝 弘充
, 梅村 裕明
, 堀切 康平
, 吉田 安子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2017539042
Patent number：6266851
Application date： Mar. 16, 2017
Summary：
【要約】 より高画質な画像を得ることができるイメージング装置及びイメージング方法を提供する。ビーム生成部(11)は、レーザ光から第1、第2プローブビームを生成する。第1、第2プローブビームは、それぞれ互いにビート周波数が異なる複数の干渉光からなる。ビーム照射部(12)は、第1、第2プローブビームを副走査方向に離して照射する。微小流路(55)内を試料(G)が移動することで、試料(G)に対する第1、第2プローブビームの照射位置がずれて副走査が行われる。第1、第2プローブビームのそれぞれの照射で得られる試料(G)の画像を重ねて観察画像を生成する。
Claim (excerpt)：
【請求項1】強度変調周波数が互いに異なる複数の変調光を空間的に配列した複数のプローブビームを生成するビーム生成部と、
複数の前記プローブビームのそれぞれについて、前記変調光を主走査方向に沿ってライン状に配列するとともに、複数の前記プローブビームを互いに主走査方向と異なる副走査方向に隣接または離して試料に照射するビーム照射部と、
複数の前記プローブビームの照射位置と前記試料とを副走査方向に相対的に移動する副走査部と、
前記プローブビームを前記試料に照射することで生じた信号光の強度を検出して検出信号を出力する光検出部と、
前記検出信号の前記変調光ごとの信号成分から前記試料の観察画像を生成する信号処理部と
を備え、
複数の前記プローブビームは、前記変調光の強度変調の位相が他の前記プローブビームの前記変調光に対して半周期ずれた前記プローブビームを含む
ことを特徴とするイメージング装置。
IPC (2)：
G01N 21/64 ( 200 6.01)
, G02B 21/06 ( 200 6.01)
G01N 21/64 E
, G02B 21/06
