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J-GLOBAL ID:201803008535066210

誘電体バリア放電イオン化検出器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 特許業務法人京都国際特許事務所
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2016175504
Publication number (International publication number):2018040721
Application date: Sep. 08, 2016
Publication date: Mar. 15, 2018
Summary:
【課題】誘電体バリア放電イオン化検出器において、検出出力の安定性を向上させる。【解決手段】内部をプラズマ生成ガスが流通する誘電体管111と、誘電体管111の外壁に周設された高圧電極112と、誘電体管111の外壁の高圧電極を挟む位置に周設された2つの接地電極113、114と、高圧電極112に接続され、誘電体管111内で放電を発生させてプラズマ生成ガスからプラズマを発生させるべく、高圧電極112と2つの接地電極113、114との間に交流電圧を印加する電圧印加手段115と、前記プラズマの作用によってイオン化された気体状の試料成分によるイオン電流を検出する電荷収集部120とを有するBIDにおいて、2つの接地電極113、114のうちの一方の接地電極と高圧電極112の距離を両者間における放電開始距離よりも長くし、他方の接地電極と高圧電極112の距離を両者間における放電開始距離よりも短くする。【選択図】図1
Claim (excerpt):
a)プラズマ生成ガスが流通するガス流路の一区画を収容する誘電体管と、 b)前記誘電体管の外壁に周設された高圧電極と、 c)電気的に接地され、前記誘電体管の外壁の前記高圧電極を挟む位置に周設された2つの接地電極と、 d)前記高圧電極に接続され、前記誘電体管内で放電を発生させて前記プラズマ生成ガスからプラズマを生成するべく、前記高圧電極と前記2つの接地電極との間に交流電圧を印加する電圧印加手段と、 e)前記ガス流路の、前記プラズマの生成領域よりも下流の一区画であって、該区画に試料ガスを導入する試料ガス導入手段と、前記プラズマから発せられた光によって前記試料ガス中の試料成分から生成されたイオンを収集する収集電極とを備えた電荷収集部と、 を有し、 前記2つの接地電極のうちの一方の接地電極と前記高圧電極との間の距離が両者の間における放電開始距離よりも長く、他方の接地電極と前記高圧電極との間の距離が両者の間における放電開始距離よりも短いことを特徴とする誘電体バリア放電イオン化検出器。
IPC (2):
G01N 27/70 ,  G01N 30/64
FI (2):
G01N27/70 ,  G01N30/64 F
F-Term (3):
2G041CA04 ,  2G041DA07 ,  2G041EA06

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