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J-GLOBAL ID：201803008662151340

インプリント装置

Inventor： 鈴木 健太 ,  尹 成圓 ,  廣島 洋
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (2)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2016080671
Publication number (International publication number)：WO2017073388
Application date： Oct. 17, 2016
Publication date： May. 04, 2017
Summary：

本発明のインプリント装置は、モールド3に形成した凹部にレジスト層が侵入し、レジスト層で封止された凹部内部の温度、圧力で凝縮する凝縮性ガスの雰囲気中で、モールドに形成した凹部の転写を行う際、第1凝縮性ガスタンク6及び調整バルブ6a、第2凝縮性ガスタンク6及び調整バルブ7aにより、飽和蒸気圧の異なる複数の凝縮性ガスを一定の比率で供給する供給装置を備えている。これにより、毛管凝縮によるレジストの充填不良を防止するとともに、同一のモールドを用いても、パターン線幅や形状の調整することが可能となる。

Claim (excerpt)：

モールドに形成した凹部にレジスト層が侵入し、前記レジスト層で封止された前記凹部内部の温度、圧力で凝縮する凝縮性ガスの雰囲気中で、前記モールドに形成した凹部の転写を行うインプリント装置において、 前記凝縮性ガスとして、飽和蒸気圧の異なる複数の凝縮性ガスを一定の比率で供給する供給装置を備えたことを特徴とするインプリント装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  B29C 59/02

FI (2)：

H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z

F-Term (11)：

4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AM30 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN07 ,  4F209PN09 ,  5F146AA31 ,  5F146DA27