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J-GLOBAL ID：201803009568297973

アライメント用光学測定素子及び該光学測定素子を用いた光プローブのアライメント方法

Inventor：
徳島 正敏

About 徳島 正敏


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社

, 
技術研究組合光電子融合基盤技術研究所

About 技術研究組合光電子融合基盤技術研究所


Agent (3)： 池田 憲保 ,  佐々木 敬 ,  松田 順一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016133873
Publication number (International publication number)：2018005067
Application date： Jul. 06, 2016
Publication date： Jan. 11, 2018
Summary：
【課題】動作原理的に高効率であって、製造が容易であり、同時に反射損失の発生が少ない、アライメント用光学測定素子を提供する。【解決手段】光プローブをアライメント用光学測定素子のグレーティングカプラに接近させ(S10)、光プローブからの出射光をグレーティングカプラに出射光として入力し(S20)、グレーティングカプラから戻ってきた出射光を同じ光プローブで受光し(S30)、受光した光の光強度を光検出器で測定し(S40)、光強度の測定値が最大になるよう、ウエハに対する光プローブの相対位置を調節する(S50)。測定位置情報から、ウエハの光ファイバの移動軸に対する平行度や、ウエハの水平度を修正する(S60)。連続する2回の処理で測定されたそれぞれの相対位置が一定の許容誤差内に入ったか否かを判定し(S70)、是であればアライメントを終了し、否であればS20に戻る。【選択図】図8
Claim (excerpt)：
ウエハ又は光チップに設けられるアライメント用光学測定素子であって、 グレーティングカプラと、 該グレーティングカプラに結合された反射器と、 を含み、 前記グレーティングカプラは、入射光を回折して第1の導波光として伝搬し、該第1の導波光が前記反射器で反射された反射光を、前記第1の導波光とは逆向きに第2の導波光として伝搬し、該第2の導波光を回折して前記入射光とは逆向きに出射光として放射する、ように配置されている、光学測定素子。
IPC (4)：
G02B 6/34 ,  G02B 6/30 ,  G02B 6/124 ,  G01M 11/00
FI (4)：
G02B6/34 ,  G02B6/30 ,  G02B6/124 ,  G01M11/00 G
F-Term (42)：
2G086AA04 ,  2H137AA14 ,  2H137AB09 ,  2H137AB11 ,  2H137BA15 ,  2H137BA34 ,  2H137BA45 ,  2H137BA52 ,  2H137BA53 ,  2H137BC25 ,  2H137BC29 ,  2H137BC51 ,  2H137CA34 ,  2H137CB06 ,  2H137CB24 ,  2H137CB32 ,  2H137CB33 ,  2H137CC03 ,  2H137HA11 ,  2H147AA02 ,  2H147AB04 ,  2H147AB05 ,  2H147AB16 ,  2H147BC03 ,  2H147BC05 ,  2H147BD03 ,  2H147BD07 ,  2H147BE15 ,  2H147BG04 ,  2H147BG11 ,  2H147CA05 ,  2H147CA13 ,  2H147CB01 ,  2H147CC01 ,  2H147CC13 ,  2H147CD01 ,  2H147CD02 ,  2H147EA13A ,  2H147EA14B ,  2H147FD19 ,  2H147GA10 ,  2H147GA19
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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