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J-GLOBAL ID：201803014336204000
イオン源及びイオンビーム発生方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
特許業務法人東京国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017052955
Publication number (International publication number)：2018156846
Application date： Mar. 17, 2017
Publication date： Oct. 04, 2018
Summary：
【課題】線形加速器を用いること無く、大電流かつ高エネルギーのイオンビームを出力できるイオン源及びイオンビーム発生方法を提供する。【解決手段】イオン源10は、円筒状の外側磁気部16と、この外側磁気部16と一定の空間を隔てて配置された内側磁気部20と、空間の閉止側に配置された陽極25と、陰極26と、を備えて、磁場と直交する方向の電場を印加し、プラズマ中のイオンを加速するホールスラスタ11と、一端が開放された内側陽極30と、内側陽極30の周囲に配置された外側陰極32と、を備えて、流入したイオンビームを、両極間を流れる電流とこの電流により発生する自己磁場とで生じるローレンツ力により内側陽極30の開放端方向に加速させて、内側陽極30の開放部で圧縮させ出力するプラズマフォーカス部13と、を備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
円筒状の外側磁気部と、前記外側磁気部の中心部に一定の空間を隔てて配置されて、前記外側磁気部との間に磁場を発生させる柱状の内側磁気部と、前記空間の閉止側に配置された陽極と、開放側に配置された陰極と、を備えて、前記磁場と直交する方向の電場を印加して、前記空間に供給されたガスを電離して発生させたプラズマ中のイオンを加速するホールスラスタと、
一端が開放されて配置された柱状の内側陽極と、前記内側陽極を中心にしてその周囲に配置された外側陰極と、を備えて、前記ホールスラスタから流入したイオンビームを、両極間を流れる電流とこの電流により発生する自己磁場とで生じるローレンツ力により前記内側陽極の開放端方向に加速移動させて、前記内側陽極の開放部で圧縮させて出力するプラズマフォーカス部と、を備えることを特徴とするイオン源。
IPC (4)：
H01J 27/02
, H01J 37/08
, H01J 37/248
, H01J 27/18
H01J27/02
, H01J37/08
, H01J37/248 B
, H01J27/18
5C030BB09
, 5C030DE10
, 5C030DG06
, 5C030DG09
Cited by examiner (2)
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電源装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2005-374204
Applicant：三菱電機株式会社
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高周波放電プラズマ生成型二段式ホール効果プラズマ加速器
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2004-338676
Applicant：独立行政法人宇宙航空研究開発機構
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