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J-GLOBAL ID:201803018253913470
積層体境界検出装置、該方法、該プログラムおよび記録媒体
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
小谷 悦司
, 小谷 昌崇
, 櫻井 智
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2016195496
Publication number (International publication number):2018059735
Application date: Oct. 03, 2016
Publication date: Apr. 12, 2018
Summary:
【課題】本発明は、ノイズ変動に強く、相関解析の必要の無い積層体境界検出装置、該方法、該プログラムおよびその記録媒体を提供する。【解決手段】本発明の積層体境界検出装置Maは、積層体の断面の画像データを取得する画像取得部11と、この取得した画像データに対し、積層方向に直交する直交方向に輝度プロジェクションを前記積層方向に沿って求める輝度プロジェクション処理部122と、この求めた輝度プロジェクションに対し微分値の絶対値を微分絶対値として求める微分絶対値処理部123と、この求めた微分絶対値から、前記微分絶対値の最大値に対する所定の割合以上または大きな微分絶対値を抽出するノイズ除去処理部124と、この抽出した微分絶対値に基づいて、前記断面における前記積層体の境界面の位置を求める境界抽出処理部125aとを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
互いに異なる複数の材料を積層した部材である積層体における、境界面と交差した積層方向を含む断面の画像データを取得する画像取得部と、
前記画像取得部で取得した画像データに対し、前記積層方向に直交する直交方向に輝度プロジェクションを前記積層方向に沿って求める輝度プロジェクション処理を行う輝度プロジェクション処理部と、
前記輝度プロジェクション処理部で前記積層方向に沿って求めた輝度プロジェクションに対し微分値を求め、前記求めた微分値の絶対値を微分絶対値として求める微分絶対値処理を行う微分絶対値処理部と、
前記微分絶対値処理部で求めた微分絶対値から、前記微分絶対値の最大値に対する所定の割合以上である微分絶対値または前記微分絶対値の最大値に対する所定の割合より大きな微分絶対値を抽出するノイズ除去処理を行うノイズ除去処理部と、
前記ノイズ除去処理部で抽出した微分絶対値に基づいて、前記断面における前記境界面の位置を求める境界抽出処理を行う境界抽出処理部とを備えること
を特徴とする積層体境界検出装置。
IPC (3):
G01B 11/00
, G01N 21/27
, G06T 7/00
FI (3):
G01B11/00 H
, G01N21/27 A
, G06T7/00 G
F-Term (28):
2F065AA02
, 2F065BB17
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065QQ13
, 2F065QQ24
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2F065QQ42
, 2F065SS13
, 2G059AA03
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059FF01
, 2G059KK04
, 2G059MM01
, 2G059MM04
, 2G059MM05
, 5L096BA03
, 5L096BA18
, 5L096FA32
, 5L096FA36
, 5L096FA60
, 5L096FA69
, 5L096GA02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
-
膜厚測定方法及びその装置並びにその記録媒体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-009236
Applicant:株式会社東芝
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位置決め手法、及び位置決め装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-292866
Applicant:株式会社ニコン
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