圧力センサ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：北野修平 , 田中勝也 , 西村英人 , 庄司晃
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016216066
Publication number (International publication number)：2018072287
Application date： Nov. 04, 2016
Publication date： May. 10, 2018
Summary：

【課題】低コストで検出精度を向上させた圧力センサを提供することを目的とする。【解決手段】圧力センサ1は、第1絶縁層10と、導電層30と、第2絶縁層20と、第1検出電極部40と、第2検出電極部50と、引き出し電極部60と、を備える。第2絶縁層20は、導電層30上に積層され、厚み方向に貫通する第1の貫通孔93および第2の貫通孔94が形成される。第1検出電極部40は、第1絶縁層10の導電層30に対向する面上の一部に配置される。引き出し電極部60は、第2絶縁層20の第2の貫通孔94を取り囲む壁面上に配置される。導電層30は、ダイヤフラム部301と、アイランド部302と、を含む。第1検出電極部40は、アイランド部302の第1絶縁層10側の端部に接続される。引き出し電極部60は、アイランド部302の第2絶縁層20側の端部に接続される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

第1絶縁層と、前記第1絶縁層上に積層される導電層と、前記導電層上に積層され、厚み方向に貫通する第1の貫通孔および第2の貫通孔が形成される第2絶縁層と、前記第1絶縁層の前記導電層に対向する面上の一部に配置される第1検出電極部と、前記第2絶縁層の前記導電層に対向する面上の一部から前記第1の貫通孔を取り囲む壁面まで延在するように配置される第2検出電極部と、前記第2絶縁層の前記第2の貫通孔を取り囲む壁面上に配置される引き出し電極部と、を備え、前記導電層は、前記第1絶縁層との間に基準圧力空間を形成するとともに、前記第2絶縁層との間に前記第1の貫通孔と連通する測定圧力空間を形成することにより、他の部分に比べて厚みの薄いダイヤフラム部と、平面的に見て前記第2の貫通孔に重なる位置であって、前記ダイヤフラム部とは離れた位置に配置され、厚み方向に貫通する環状の空間に取り囲まれるアイランド部と、を含み、前記第1検出電極部は、前記アイランド部の前記第1絶縁層側の端部に接続され、前記引き出し電極部は、前記アイランド部の前記第2絶縁層側の端部に接続される、圧力センサ。

IPC (2)：

G01L 9/00 , H01L 29/84

FI (2)：

G01L9/00 305H , H01L29/84 Z

F-Term (21)：

2F055AA40 , 2F055BB01 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE25 , 2F055FF11 , 2F055GG11 , 4M112AA01 , 4M112BA07 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA11 , 4M112CA13 , 4M112CA14 , 4M112DA02 , 4M112DA09 , 4M112DA15 , 4M112EA03 , 4M112EA10 , 4M112EA13 , 4M112FA20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

可変容量センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-024698 Applicant：アルプス電気株式会社
静電容量式圧力検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-302383 Applicant：富士電機株式会社
静電容量型センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-239263 Applicant：株式会社山武

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