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J-GLOBAL ID：201803019188349453
ポンプおよび送液方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2014545765
Patent number：6288778
Application date： Nov. 08, 2013
Claim (excerpt)：
【請求項1】 液体を流動させるための流路と、
上記流路内に形成されている、上記液体を流動させる方向に対して垂直な方向における上記流路の断面を狭窄している狭窄部と、
上記流路内の上記狭窄部よりも上流側に、上記狭窄部に隣接して配置されているバルブであって、上記バルブの一端が上記流路の壁面に固定されており、かつ、上記バルブの他端に磁性粒子を有する磁性粒子配置部が設けられているバルブと、
上記流路の外部に設けられているとともに、上記バルブに対して磁力を作用させる磁石と、
上記磁石を、上記液体を流動させる方向と平行な方向へ振動させる振動アクチュエータと、を備えており、
上記バルブは、上記バルブの他端が狭窄部から最も離れた場合の当該他端の位置と上記バルブの他端が上記狭窄部に最も近づいた場合の当該他端の位置との中間にあたる中心位置と、上記狭窄部の上記バルブに近い方の一端と、の間の距離であって、上記液体を流動させる方向に平行な方向における距離が150μm以上300μm以下、にて振動し、
上記流路の、液体を流動させる方向の長さが600μm以上5.3mm以下であり、高さが240μm以上500μm以下であり、狭窄部を除く流路の幅が240μm以上500μm以下であり、
上記狭窄部の、液体を流動させる方向の長さが10μm以上50μm以下であり、高さが240μm以上500μm以下であり、幅が10μm以上50μm以下であり、
上記バルブの、長さが240μm以上490μm以下であり、幅が50μm以上200μm以下であり、厚みが10μm以上40μm以下であり、
磁性粒子の平均粒子径は、1nm以上1μm以下であり、
上記流路の壁面に固定されている上記バルブの一端と、狭窄部のバルブに近い方の一端との間の距離は、40μm以上490μm以下であり、
上記バルブは、上記バルブの他端が狭窄部から最も離れた場合の当該他端の位置と上記バルブの他端が上記狭窄部に最も近づいた場合の当該他端の位置との間の距離であって、上記液体を流動させる方向に平行な方向における距離が100μm以上250μm以下となるように振動し、
上記磁石を振動させる周波数は、5Hz以上25Hz以下であることを特徴とするポンプ。
IPC (4)：
F04D 33/00 ( 200 6.01)
, F04B 9/00 ( 200 6.01)
, B81B 3/00 ( 200 6.01)
, G01N 37/00 ( 200 6.01)
F04D 33/00
, F04B 9/00 A
, B81B 3/00
, G01N 37/00 101
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
-
Development of micro-vibrating flow pumps using MEMS technologies
Cited by examiner (1)
-
Development of micro-vibrating flow pumps using MEMS technologies
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