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J-GLOBAL ID：201902217233772222   Reference number：19A1796865

Fabrication of tactile display device with shape memory alloy thick film actuator and through substrate via electrodes

貫通裏面電極をもつ形状記憶合金厚膜アクチュエータ型触覚ディスプレイの形成

Author (4)： KIMURA YUSUKE (山形大) ,  MARUYAMA AKIRA (山形大) ,  XU Jiale (山形大) ,  MINETA TAKASHI (山形大)
Material： 電気学会研究会資料
Issue： MSS-19-011-028.030-034 マイクロマシン・センサシステム研究会  Page： 97-100  Publication year： Jul. 01, 2019 
JST Material Number： Z0924B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electrode ,  shape memory alloy ,  thick film ,  actuator ,  *display device ,  tactile sense ,  *wafer ,  wiring ,  penetration ,  bonding and joining

JST classification (3)： Display equipment  (NC06030Q) ,  Other electric and electronic parts  (NA05090R) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (5)： 裏面電極 ,  形状記憶合金 ,  厚膜 ,  アクチュエータ ,  触覚ディスプレイ