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J-GLOBAL ID：201902221407844168   Reference number：19A2619756

高温水素雰囲気下におけるニッケルインプリント技術を用いたダイヤモンド表面パターニング

Author (16)： TABAKOYA TAIRA (金沢大) ,  TABAKOYA TAIRA (産業技術総合研) ,  SAKAUCHI KAZUTO (金沢大) ,  NAGAI MASATSUGU (金沢大) ,  NAKAMURA YUTO (金沢大) ,  MATSUMOTO TSUBASA (金沢大) ,  INOKUMA TAKAO (金沢大) ,  TOKUDA NORIO (金沢大) ,  TOKUDA NORIO (産業技術総合研) ,  KATO HIROMITSU (産業技術総合研) ,  KATO YUKAKO (産業技術総合研) ,  OGURA MASAHIKO (産業技術総合研) ,  TAKEUCHI DAISUKE (産業技術総合研) ,  MAKINO TOSHIHARU (産業技術総合研) ,  YAMASAKI SATOSHI (金沢大) ,  YAMASAKI SATOSHI (産業技術総合研)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 80th  Page： ROMBUNNO.20p-E312-1  Publication year： Sep. 04, 2019 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： atmosphere(environment) ,  *nickel ,  *lithography ,  *diamond ,  pattern formation ,  optical microscope
Semi thesaurus term： hydrogen atmosphere ,  *imprint lithography ,  patterning ,  laser microscope

JST classification (1)： Other surface treatment  (WC08070F)

Terms in the title (3)： 水素雰囲気 ,  ダイヤモンド ,  パターニング