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J-GLOBAL ID：201902231788633398   Reference number：19A0909925

Dimensional measurement of internal profile using the optical caliper

光キャリパを用いた内部プロファイルの寸法測定【JST・京大機械翻訳】

Author (6)： Jin Lianhua (Univ. of Yamanashi (Japan)) ,  Miyatsu Nobuto (Univ. of Yamanashi (Japan)) ,  Kondoh Eiichi (Univ. of Yamanashi (Japan)) ,  Gelloz Bernard (Nagoya Univ. (Japan)) ,  Kanazawa Naobumi (Nak Co., Ltd. (Japan)) ,  Yoshizawa Toru (Non-Profit Organization 3D Associates (Japan))
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 10819  Page： 108190K-6  Publication year： 2018 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： Dimensional measurement of int...

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Thesaurus term： circular cone ,  *length measurement ,  image ,  image sensor ,  lens system ,  circular plate ,  semiconductor laser ,  lighting and illumination

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (3)： キャリパ ,  プロファイル ,  寸法測定