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J-GLOBAL ID：201902235253734019   Reference number：19A0228155

Alloying during local droplet etching of AlGaAs surfaces with aluminium

アルミニウムによるAlGaAs表面の局所液滴エッチング中の合金化【JST・京大機械翻訳】

Author (3)： Zocher M. (Center for Hybrid Nanostructures (CHyN), University of Hamburg, Luruper Chaussee 149, 22761 Hamburg, Germany) ,  Heyn Ch. (Center for Hybrid Nanostructures (CHyN), University of Hamburg, Luruper Chaussee 149, 22761 Hamburg, Germany) ,  Hansen W. (Center for Hybrid Nanostructures (CHyN), University of Hamburg, Luruper Chaussee 149, 22761 Hamburg, Germany)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 125  Issue： 2  Page： 025306-025306-5  Publication year： 2019 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： Local droplet etching (LDE) dr...

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Thesaurus term： quantum dot ,  *droplet ,  *aluminum gallium arsenide ,  *etching ,  *aluminum ,  solid phase ,  *gallium ,  twist drill ,  substrate(plate) ,  positive hole ,  melting point ,  *alloying ,  atomic force microscope ,  self assembly
Semi thesaurus term： ナノ細孔 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (5)： アルミニウム ,  AlGaAs ,  液滴 ,  エッチング ,  合金化