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J-GLOBAL ID：201902236138234580   Reference number：19A0109276

Numerical Simulation Study of Surface Reactions on the Organic Polymer Etching by Hydrogen-Nitrogen Ion Beam Injections

水素-窒素イオンビーム入射による有機高分子エッチングにおける表面反応の数値シミュレーション研究

Author (1)： YAMASHIRO Masashi (Nihon Univ.)
Material： 日本大学生産工学部研究報告 A 理工系  (Journal of the College of Industrial Technology, Nihon University)
Volume： 51  Issue： 2  Page： 1-14  Publication year： Dec. 20, 2018 
JST Material Number： G0516A  ISSN： 0385-4442  CODEN： NDAREH  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ion beam ,  *surface reaction ,  *simulation ,  surface modification ,  sputtering ,  cluster ,  *etching ,  ammonia ,  molecular dynamics ,  macromolecule ,  passivation ,  hydrogen ,  nitrogen
Semi thesaurus term： ion impact ,  CNx ,  injection energy ,  Molecular Dynamics Simulation

JST classification (3)： Applications of electron beams and ion beams  (BD02070X) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Computer simulation  (JE11000H)

Terms in the title (8)： 水素 ,  窒素イオン ,  ビーム入射 ,  高分子 ,  エッチング ,  表面反応 ,  数値シミュレーション ,  研究