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J-GLOBAL ID：201902249279083580   Reference number：19A1742872

ナノ技術・ナノ材料の展開 有機金属分解(MOD)法によるナノ構造無機化合物薄膜コーティング技術

Author (2)： SUGAHARA TOORU (大阪大 産科研) ,  WATANABE KOSUKE (名古屋工大 大学院工学研究科)
Material： JETI  (月刊JETI(ジェティ))
Volume： 67  Issue： 8  Page： 11-15  Publication year： Jul. 22, 2019 
JST Material Number： F0013B  ISSN： 0289-4343  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *solution growth ,  molybdenum oxide ,  titanium oxide ,  *spin coating ,  ammonium compound ,  molybdate ,  wafer ,  oxide ,  nitride ,  *thin film growth
Semi thesaurus term： *metal-organic decomposition ,  ammonium molybdate ,  oxynitride

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Substance index (1)： Titanium(IV)tetraisopropoxide

Terms in the title (8)： ナノ材料 ,  展開 ,  有機金属 ,  分解 ,  法 ,  ナノ構造 ,  無機化合物 ,  薄膜コーティング