Art

J-GLOBAL ID：201902250638155051   Reference number：19A1703687

位相シフト電子線ホログラフィーによるGaAs半導体の高確度電位計測

Author (5)： ANADA SATOSHI (ファインセラミックスセ) ,  YAMAMOTO KAZUO (ファインセラミックスセ) ,  HIRAYAMA TSUKASA (ファインセラミックスセ) ,  SASAKI HIROKAZU (古河電気工業) ,  SHIBATA NAOYA (東大)
Material： JFCC研究成果集  (JFCC研究成果発表会成果集)
Volume： 2019  Page： 26  Publication year： 2019 
JST Material Number： L1711B  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 位相シフト ,  電子線ホログラフィー ,  GaAs ,  確度 ,  電位計測