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J-GLOBAL ID：201902250766590259   Reference number：19A0772586

Chemical structure analysis of diamond-like carbon by Raman spectroscopy

ラマン分光法によるダイヤモンドライクカーボンの化学構造解析

Author (2)： TAKABAYASHI SUSUMU (株式会社アドテックプラズマテクノロジー) ,  TAKAKUWA YUJI (東北大学多元物質科学研究所)
Material： 炭素
Volume： 2019  Issue： 286  Page： 14-25(J-STAGE)  Publication year： 2019 
JST Material Number： G0633A  ISSN： 0371-5345  CODEN： TASOA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Raman spectroscopy ,  *DLC film ,  *diamond-like carbon ,  *molecular structure ,  dielectric property ,  conjugation ,  Raman spectrum ,  chemical constitution

Author keywords (8)： Diamond-like carbon (DLC) ,  Photoemission-assisted Townsend discharge (PATD) ,  Raman spectroscopy ,  sp² cluster model ,  Diamond-like carbon (DLC) ,  Photoemission-assisted Townsend discharge (PATD) ,  Raman spectroscopy ,  sp² cluster model

JST classification (2)： Nonmetallic compounds  (CD01070R) ,  Experimental research on molecular structure and properties  (CB01020I)

Reference (61)：

• 1) S. Aisenberg and R. Chabot, J. Appl. Phys. 42 (1971) 2953-2958.
• 2) J. Robertson, Mater. Sci. Eng. Rep. 37 (2002) 129-281.
• 3) 神田一浩,応用物理,86 (2017) 558-564.
• 4) International Organization for Standrdization (ISO)下のISO/TC 107にて審議中。
• 5) S. Takabayashi and T. Takahagi, J. Surf. Anal. 20 (2013) 25-54 [in Japanese].

Terms in the title (4)： ラマン分光法 ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  化学 ,  構造解析