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J-GLOBAL ID：201902256048366953   Reference number：19A1796904

Wear-resistive and electrically conductive nitrogen-containing DLC film consisting of ultra-thin multilayers prepared by using filtered arc deposition

フィルターアーク蒸着を使用して調製された極薄多層膜からなる耐摩耗性かつ導電性の窒素含有DLCフィルム

Author (15)： HARIGAI Toru (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  TAMEKUNI Koki (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  IIJIMA Yushi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  DEGAI Satoshi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  TANIMOTO Tsuyoshi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  SUDA Yoshiyuki (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  TAKIKAWA Hirofumi (Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN) ,  TAKAGO Shigeki (Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN) ,  YASUI Haruyuki (Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN) ,  KANEKO Satoru (Kanagawa Inst. of Industrial Sci. and Technol., Kanagawa, JPN) ,  KUNITSUGU Shinsuke (Industrial Technol. Center of Okayama Prefecture, Okayama, JPN) ,  HABUCHI Hitoe (Gifu Coll., Gifu, JPN) ,  KAMIYA Masao (Itoh Optical Industrial Co., Ltd., Aichi, JPN) ,  TAKI Makoto (Onward Ceramic Coating Co., Ltd., Ishikawa, JPN) ,  GONDA Hidenobu (OSG Coating Serv. Co., Ltd., Aichi, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 58  Issue： SE  Page： SEED05.1-SEED05.5  Publication year： Jun. 2019 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ion plating ,  ultrathin film ,  *multilayer film ,  *abrasion resistance ,  *conductive property ,  Nitrogen ,  doping ,  DLC film ,  reflectivity ,  electrical conductivity ,  abrasion test ,  *filtered arc deposition ,  X-ray reflectivity ,  *mechanical property ,  *resistance (endure)
Semi thesaurus term： super thin film

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (37)：

• T. Suenaga, A. Kai, T. Tsubota, H. Nagahata, and Y. Kume, Kumamotoken Sangyo Gijutsu Center 51, 13 (2014), [in Japanese].
• T. Kitagawa and S. Nomura, Kenkyu Hokoku PCT/JP2011/077333, 2012- 06-07 [in Japanese].
• Y. Iijima et al., Jpn. J. Appl. Phys. 57, 01AE07 (2018).
• H. Fukui, J. Okida, N. Omori, H. Moriguchi, and K. Tsuda, Surf. Coatings Technol 187, 70 (2004).
• M. Kano, Tribol. Int. 39, 1682 (2006).

Terms in the title (9)： フィルター ,  アーク蒸着 ,  調製 ,  極 ,  多層膜 ,  耐摩耗性 ,  導電性 ,  窒素 ,  DLCフィルム