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J-GLOBAL ID：201902276070172081   Reference number：19A2329887

Agナノインクを用いて作製したAg/Siショットキー接触:焼成条件が電気特性に及ぼす影響

Author (3)： SAITO MASASHI (大阪産業技術研) ,  KASHIWAGI YUKIYASU (大阪産業技術研) ,  TAMAI TOSHIYUKI (大阪産業技術研)
Material： マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集  (エレクトロニクス実装学会秋季大会論文集)
Volume： 29th  Page： 75-78  Publication year： Sep. 12, 2019 
JST Material Number： X0060A  ISSN： 2434-396X  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silver ,  *ink ,  *chemical cleaning ,  ohmic contact ,  *Schottky barrier diode ,  *temperature ,  *time ,  *electronics
Semi thesaurus term： Ag ,  Schottky barrier diode ,  ohmic contact ,  nano-ink ,  printed electronics ,  *firing temperature ,  *sintering time

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Printing  (ZA05040A)

Terms in the title (8)： Ag ,  ナノインク ,  作製 ,  Si ,  ショット ,  キー ,  焼成 ,  電気特性