Art

J-GLOBAL ID：201902276640704051   Reference number：19A1098961

Microfabrication of Concave Micromirror for Microbial Cell Trapping Using Koehler Illumination by XeF₂ Vapor Etching

XeF₂蒸気エッチングによるKoehler照明を用いた微生物細胞捕捉のための凹形マイクロミラーの微細加工

Author (4)： MATSUTANI Akihiro (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  SATO Mina (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  HASEBE Koichi (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN) ,  TAKADA Ayako (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
Material： Sensors and Materials  (Sens Mater)
Volume： 31  Issue： 4 (3)  Page： 1325-1334  Publication year： 2019 
JST Material Number： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *xenon fluoride ,  *dry etching ,  *cell ,  *capture ,  concave ,  *reflecting mirror ,  *fine patterning ,  silicon ,  Yeasts ,  micro channel ,  MEMS ,  solid state device ,  *micromirror ,  microorganism
Semi thesaurus term： micro device ,  *dry etching

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical devices in general  (BD06010L)

Reference (21)：

• A. Matsutani and A. Takada: Jpn. J. Appl. Phys. 49 (2010) 127201.
• A. Matsutani and A. Takada: Jpn. J. Appl. Phys. 51 (2012) 087001.
• A. Ashkin, J. M. Dziedzic, J. E. Bjorkholm, and S. Chu: Opt. Lett. 11 (1986) 288.
• H. Liang, W. H. Wright, S. Cheng, W. He, and M. W. Berns: Exp. Cell Res. 204 (1993) 110.
• A. Ashkin: Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 94 (1997) 4853.

Terms in the title (9)： XeF2 ,  蒸気 ,  エッチング ,  照明 ,  生物細胞 ,  捕捉 ,  凹形 ,  マイクロミラー ,  微細加工