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J-GLOBAL ID：201902292072093145   Reference number：19A2480200

圧電体共振を用いた水素検出用パラジウムナノ粒子の開発

Author (1)： NAKAMURA NOBUTOMO (大阪大)
Material： クリーンエネルギー
Volume： 28  Issue： 10  Page： 22-26  Publication year： Oct. 10, 2019 
JST Material Number： L1693A  ISSN： 0918-7510  CODEN： KUENE9  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： piezoelectrics ,  *gas sensor ,  *Hydrogen ,  *nano particle ,  *Palladium ,  electric resistance ,  RF sputtering ,  resonance frequency ,  resonance (vibration) ,  thin film growth ,  energy consumption ,  attenuation ,  wafer ,  silicon ,  *palladium nanoparticle ,  amplitude attenuation ,  *hydrogen gas sensor ,  Si wafer
Semi thesaurus term： silicon substrate

JST classification (2)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 圧電体 ,  共振 ,  水素 ,  パラジウムナノ粒子 ,  開発