窒化アルミニウム結晶の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：須田篤 , 楠修二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018087979
Publication number (International publication number)：2019194133
Application date： May. 01, 2018
Publication date： Nov. 07, 2019
Summary：

【課題】結晶中に貫通転位やミスフィット転位、歪みが発生するのを防ぐことができる窒化アルミニウム結晶の製造方法の提供。【解決手段】Alを含む合金の融液の表面に、窒素原子を含む気体を接触させることにより、融液の表面に窒化アルミニウム結晶を成長させる窒化アルミニウム結晶の製造方法。窒化アルミニウム結晶の成長中、融液を合金の液相線温度以上で、窒化アルミニウムの解離温度または融点より低い温度に保つ窒化アルミニウム結晶の製造方法。合金は、Alと、Alよりも窒化物を形成しにくく、融点が窒化アルミニウムの解離温度または融点より低い元素(Ni、Cu、Fe、Co)とを、主成分として含んでいる窒化アルミニウム結晶の製造方法。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

Alを含む合金の融液の表面に、窒素原子を含む気体を接触させることにより、前記融液の表面に窒化アルミニウム結晶を成長させることを特徴とする窒化アルミニウム結晶の製造方法。

IPC (4)：

C30B 29/38 , C30B 19/04 , C30B 19/10 , H01L 21/208

FI (4)：

C30B29/38 C , C30B19/04 , C30B19/10 , H01L21/208 Z

F-Term (17)：

4G077AA03 , 4G077BE13 , 4G077CG01 , 4G077CG07 , 4G077EA02 , 4G077EH07 , 4G077HA02 , 4G077QA01 , 4G077QA12 , 4G077QA38 , 5F053AA42 , 5F053AA50 , 5F053DD20 , 5F053FF01 , 5F053GG01 , 5F053LL01 , 5F053RR03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

AlNウィスカー、樹脂組成物、油脂組成物及びAlNウィスカーの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2012-284934 Applicant：株式会社デンソー, 国立大学法人名古屋大学
結晶製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2013-062474 Applicant：株式会社リコー
III族窒化物結晶およびその製造方法、ならびにIII族窒化物結晶の製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-195666 Applicant：住友電気工業株式会社

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