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J-GLOBAL ID：201903010284282149
膜型表面応力センサーを用いた水素センサー及び水素検出方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017155808
Publication number (International publication number)：2019035613
Application date： Aug. 10, 2017
Publication date： Mar. 07, 2019
Summary：
【課題】水素をその爆発限界よりも十分低い濃度で検出する高感度の水素センサーを提供する。【解決手段】膜型表面応力センサー(MSS)の感応膜としてPd等の水素吸蔵材料の極めて薄い膜(30nm以下)を使用した水素センサーにより、この課題を達成した。Pdを使用し、膜厚を20nmとした場合、水素濃度が5ppmでも十分に検出できた。また、水素吸蔵は一般に長時間を要するプロセスであるが、本発明の水素センサーでは水素を供給し始めた直後のセンサー出力の変化率が大きいことを利用して、検出時間を短縮することができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
膜型表面応力センサーの表面応力を受け取る表面に感応膜として膜厚が30nm以下の水素吸蔵材料の膜を設けた水素センサー。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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