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J-GLOBAL ID:201403055341863672

β型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法、β型ポリフッ化ビニリデン膜及びβ型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電式センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 栗原 浩之 ,  村中 克年
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012186910
Publication number (International publication number):2014043514
Application date: Aug. 27, 2012
Publication date: Mar. 13, 2014
Summary:
【課題】大掛かりな設備を必要とせず且つ簡便な方法で製造できる圧電特性に優れ且つ純度の高いβ型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法、β型ポリフッ化ビニリデン膜、β型ポリフッ化ビニリデン膜を具備する圧電式センサを提供する。【解決手段】β型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法は、ポリフッ化ビニリデンとポリフッ化ビニリデンを溶解してβ型に固定する水溶性極性溶媒と水溶性極性溶媒よりも沸点が低い有機溶媒とを混合して塗布液を形成する工程と、得られた塗布液を基板に塗布して塗布膜を形成する工程と、塗布膜を乾燥する工程と、乾燥した膜を水洗する工程とを含む。【選択図】なし
Claim (excerpt):
β型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法であって、 ポリフッ化ビニリデンと、該ポリフッ化ビニリデンを溶解してβ型に固定する水溶性極性溶媒と、前記水溶性極性溶媒よりも沸点が低い有機溶媒とを混合して塗布液を形成する工程と、 得られた塗布液を基板に塗布して塗布膜を形成する工程と、 前記塗布膜を乾燥する工程と、 乾燥した膜を水洗する工程とを含むことを特徴とするβ型ポリフッ化ビニリデン膜の製造方法。
IPC (5):
C08J 5/18 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/193 ,  H01L 41/45 ,  G01N 5/02
FI (6):
C08J5/18 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/08 H ,  H01L41/18 102 ,  H01L41/22 C ,  G01N5/02 A
F-Term (8):
4F071AA26 ,  4F071AF11 ,  4F071AF36 ,  4F071AH12 ,  4F071BA02 ,  4F071BB02 ,  4F071BC01 ,  4F071BC13
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (12)
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Cited by examiner (12)
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