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J-GLOBAL ID:201903010836538585
磁気異方性評価装置、磁気異方性評価方法および演算機構
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
特許業務法人 谷・阿部特許事務所
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2018079748
Publication number (International publication number):2019190836
Application date: Apr. 18, 2018
Publication date: Oct. 31, 2019
Summary:
【課題】磁性薄膜における磁気異方性評価を正確に行う手段を提供する。【解決手段】本発明の磁気異方性評価方法は、平坦な平面を有する薄膜の磁性体のホール抵抗を測定するステップと、前記磁性体に磁界を印加するステップと、前記磁性体のホール抵抗の印加磁界角度依存性から、磁気トルク曲線を演算するステップ、及び前記演算した磁気トルク曲線から磁気異方性定数を演算するするステップと、を備えたことを特徴とする。【選択図】図3
Claim (excerpt):
平坦な平面を有する薄膜の磁性体のホール抵抗を測定する機構と、
前記磁性体に磁界を印加する機構と、
前記磁性体のホール抵抗の印加磁界角度依存性から、磁気トルク曲線を演算する第1の演算と、
前記演算した磁気トルク曲線から磁気異方性定数を演算するための第2の演算する機構と、
を備えたことを特徴とする磁気異方性評価装置。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (2):
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