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J-GLOBAL ID：201903020040880163

中立層ポリマー、その製造の方法、およびそれを含む物品

Inventor： ラフル・シャーマ ,  フィリップ・ディー・フスタッド ,  ピーター・トレフォナス・サード ,  デヤン・ワン ,  ミンキ・リー ,  ジェチアン・ジェイ・ジャン
Applicant, Patent owner： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー ,  ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー
Agent (1)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019117807
Publication number (International publication number)：2019178339
Application date： Jun. 25, 2019
Publication date： Oct. 17, 2019
Summary：

【課題】20ナノメートル未満の周期的な構造でミクロドメイン(例えばラメラまたは円筒)の形態を示す樹脂組成物の提供。【解決手段】互いへ共有結合され、互いとは化学的に異なる第1のセグメントおよび第2のセグメントを含み;第1のセグメントが第1の表面自由エネルギーを有し、第2のセグメントが第2の表面自由エネルギーを有する、ブロックコポリマーと;追加コポリマーが表面自由エネルギー減少部分を含み、表面自由エネルギー減少部分が第1のセグメントおよび第2のセグメントよりも低い表面自由エネルギーを有する、追加コポリマーであり;ブロックコポリマーへの親和性を有する1つまたは複数の部分をさらに含み;表面自由エネルギー減少部分が第1のセグメントおよび第2のセグメントとは化学的に異なり;追加コポリマーが水混和性ではなく;追加コポリマーがブロックコポリマーと共有結合されない追加コポリマーと、溶媒を含む組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

互いへ共有結合され、互いとは化学的に異なる第1のセグメントおよび第2のセグメントを含み;第1のセグメントが第1の表面自由エネルギーを有し、第2のセグメントが第2の表面自由エネルギーを有する、ブロックコポリマーと; 追加コポリマーが表面自由エネルギー減少部分を含み、表面自由エネルギー減少部分が第1のセグメントおよび第2のセグメントよりも低い表面自由エネルギーを有する、追加コポリマーであり;ブロックコポリマーへの親和性を有する1つまたは複数の部分をさらに含み;表面自由エネルギー減少部分が第1のセグメントおよび第2のセグメントとは化学的に異なり;追加コポリマーが水混和性ではなく;追加コポリマーがブロックコポリマーと共有結合されず;追加コポリマーが、ブロックコポリマーの表面上に中立層であって、かかる中立層と、前記ブロックコポリマーの前記第1および前記第2のセグメントとの間で均衡のとれた表面張力を有する中立層を形成するようにおよび組成物が配置される基板の表面に対して垂直なブロックコポリマー中のドメインの形成を容易にするように操作可能である、追加コポリマーと; 溶媒と を含む、組成物であって、 (i)前記第1のセグメントがポリスチレンであり、前記第2のセグメントがポリジメチルシロキサンであり、及び前記ブロックコポリマーへの親和性を有する前記部分がポリ(n-ヘキシルメタクリレート)であるか; (ii)前記第1のセグメントがポリメチルメタクリレートであり、前記第2のセグメントがポリジメチルシロキサンであり、及び前記ブロックコポリマーへの親和性を有する前記部分がポリ(n-ブチルメタクリレート)であるか;又は、 (iii)前記第1のセグメントがポリスチレンであり、前記第2のセグメントがポリ(2-ビニルピリジン)であり、及び前記ブロックコポリマーへの親和性を有する前記部分がポリ(5および6-[3,3,3-トリフルオロ-2-ヒドロキシ-2-(トリフルオロメチル)プロピル]ビシクロ-[2.2.1]ヘプタ-2-イルメタクリレートである;組成物。

IPC (1)：

C08L 53/00

FI (1)：

C08L53/00

F-Term (5)：

4J002BP03W ,  4J002BP03X ,  4J002CP17W ,  4J002GQ00 ,  4J002HA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 自己組織化可能な重合体及びリソグラフィにおける使用方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2014-551554   Applicant：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
• ミクロ相分離ポリマ-ブレンドの透過性膜製造のための用途
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-187507   Applicant：ビーエーエスエフアクチェンゲゼルシャフト
• 水分流動性ポリマー膜
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2011-534593   Applicant：アーケマ・インコーポレイテッド