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J-GLOBAL ID：202002214044447610   Reference number：20A0766462

Interaction of gas cluster ions with solids: Experiment and computer simulations

ガスクラスタイオンと固体との相互作用:実験と計算機シミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Author (5)： Chernysh V.S. (Faculty of Physics, Lomonosov Moscow State University, Leninskie Gory, 1-2, Moscow 119991, Russia) ,  Ieshkin A.E. (Faculty of Physics, Lomonosov Moscow State University, Leninskie Gory, 1-2, Moscow 119991, Russia) ,  Kireev D.S. (Faculty of Physics, Lomonosov Moscow State University, Leninskie Gory, 1-2, Moscow 119991, Russia) ,  Nazarov A.V. (Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics, Lomonosov Moscow State, Leninskie Gory, 1-5, Moscow 119991, Russia) ,  Zavilgelsky A.D. (Faculty of Physics, Lomonosov Moscow State University, Leninskie Gory, 1-2, Moscow 119991, Russia)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 388  Page： Null  Publication year： 2020 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： The experimental angular distr...

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Thesaurus term： angular distribution ,  sputtering ,  molecular dynamics ,  xenon ,  *computer simulation ,  argon ,  *interaction ,  copper ,  *cluster ion ,  polycrystal ,  *cluster
Semi thesaurus term： 表面トポグラフィー ,  質量分布 ,  分子動力学シミュレーション ,  弾性特性 , 【Automatic Indexing@JST】

Author keywords (5)： Gas cluster ions ,  Sputtering ,  Angular distributions ,  Surface topography ,  Molecular dynamics

JST classification (4)： Metallic thin films  (BK14030T) ,  Vapor plating  (WC08022K) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Terms in the title (4)： 固体 ,  相互作用 ,  実験 ,  計算機シミュレーション