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J-GLOBAL ID：202002217402050018   Reference number：20A0844717

Study on On-Machine Visualization of Surface Processing Phenomena in Nanoscale: 6^th report: Displacement verification in the third dimension of single nanoparticle

ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究 第6報:単一ナノ粒子の三次元目変位の検証

Author (4)： BLATTLER Aran (Kyushu Inst. of Technol.) ,  KHAJORNRUNGRUANG Panart (Kyushu Inst. of Technol.) ,  SUZUKI Keisuke (Kyushu Inst. of Technol.) ,  PERMPATDECHAKUL Thitipat (Kyushu Inst. of Technol.)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2020  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.G10  Publication year： Mar. 01, 2020 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： technology ,  *fine patterning ,  *visualization ,  three dimension ,  tracking ,  *nano particle ,  near field(optics) ,  scattered light
Semi thesaurus term： evanescent field ,  *three dimensional visualization ,  *micromachining process technology

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Special machining  (QC04000Y)

Reference (10)：

• P. A. Temple, Appl. Opt. 20, 2656 (1981)
• C.T McKee, S.C Clark, J.Y Walz and W.A Ducker, Langmuir 21, 5783 (2005)
• L. Helden, E. Eremina, N. Riefler, C. Hertlein, C. Bechinger, Y. Eremin and Thomas Wriedt, Appl. Opt. 45, 7299 (2006)
• J. A Thorley, J. Pike, and J. Z Rappoport, Chapter 14, 199 (2014)
• Y. Kazoe and M. Yoda J. Fluids Eng. Trans. ASME 135 1-11 (2013)

Terms in the title (7)： ナノスケール ,  現象 ,  可視化 ,  研究 ,  ナノ粒子 ,  変位 ,  検証