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J-GLOBAL ID：202002218398960419   Reference number：20A2498218

超精密位置決め技術 超精密位置決め技術のトレンドと展望

Author (1)： OIWA TAKAAKI (静岡大)
Material： 自動化推進
Volume： 49  Issue： 4  Page： 2-5  Publication year： Oct. 15, 2020 
JST Material Number： F2132A  ISSN： 2189-1753  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *positioning ,  *accuracy ,  mechanical engineering ,  *mechatronics ,  *linear motor ,  *coder ,  *information apparatus ,  *motor ,  *machine tool ,  ultra-precision
Semi thesaurus term： encoder ,  robotics & mechatronics ,  information-processing equipment

JST classification (2)： Transmission equipment  (QB01070Z) ,  Mechanical engineering in general  (QA01010I)

Reference (3)：

• 公益社団法人精密工学会超精密位置決め専門委員会, http://ulpre-positioning.jspe.or.jp/
• 超精密位置決めアンケート報告書,精密工学会超精密位置決め専門委員会アンケート小委員会(2019).
• 大岩孝彰,勝木雅英:超精密位置決めにおけるアンケート調査-精密メカトロニクスと精密計測に関するアンケート調査, 精密工学会誌, 86, 10(2020).

Terms in the title (3)： 精密位置決め ,  トレンド ,  展望