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J-GLOBAL ID：202002243502950202   Reference number：20A2804406

Survey of Questionnaire on Ultra-precision Positioning

超精密位置決め専門委員会 超精密位置決めにおけるアンケート調査 -精密メカトロニクスと精密計測に関するアンケート調査-

Author (2)： OIWA TAKAAKI (静岡大学工学部) ,  KATSUKI MASAHIDE (芝浦機械株式会社 工作機械カンパニー技術部)
Material： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
Volume： 86  Issue： 10  Page： 735-740(J-STAGE)  Publication year： 2020 
JST Material Number： U0462A  ISSN： 1882-675X  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *positioning ,  questionnaire ,  accuracy ,  resolving power ,  specification ,  positioning device ,  actuator ,  guide apparatus ,  control theory ,  control system ,  committee system ,  conference ,  speedup ,  length ,  mechatronics ,  precision measurement
Semi thesaurus term： Surveys and Questionnaires ,  guide way ,  stroke ,  positioning accuracy ,  位置決め分解能 ,  committee ,  technical trend ,  precise positioning ,  product specification ,  *超精密位置決め ,  ultra-precision measurement

Author keywords (16)： ultra-precision positioning ,  questionnaire survey ,  positioning accuracy ,  positioning resolution ,  positioning device specification ,  actuator ,  guide way ,  positioning control theory ,  ultra-precision positioning ,  questionnaire survey ,  positioning accuracy ,  positioning resolution ,  positioning device specification ,  actuator ,  guide way ,  positioning control theory

JST classification (2)： Control equipment in general  (IC02010N) ,  System and control theory in general  (IA02010H)

Reference (11)：

• 1) 井澤實: 精密および超精密位置決め技術の現状, 精密工学会誌, 57, 10 (1991) 1707.
• 2) 清水茂夫, 坂戸啓一郎: アンケート調査に見る超精密位置決め技術に関する現状と期待, 精密工学会誌, 61, 12 (1995) 1650.
• 3) 白石昌武, 楠井直樹: 超精密位置決めにおける文献とアンケート調査, 精密工学会誌, 65, 6 (1999) 799.
• 4) 大岩孝彰, 勝木雅英: 超精密位置決めにおけるアンケート調査, 精密工学会誌, 69, 8 (2003) 1077.
• 5) 大岩孝彰, 勝木雅英: 超精密位置決めにおけるアンケート調査, 精密工学会誌, 74, 10 (2008) 1027.

Terms in the title (6)： 精密位置決め ,  委員会 ,  アンケート調査 ,  精密 ,  メカトロニクス ,  精密計測